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TEM金属薄膜样品的制备方法

发布日期:2012-07-23 浏览数:643

(1)用线切割机将样品切割成0.5~1mm薄片。


(2)用水砂纸由粗到细(一般最细到1000#砂纸)将试样的两面磨光、磨薄,厚度50μm左右。此步骤也可用化学方法减薄。


(3)用冲孔机等将薄片剪成φ3mm的小圆片,剪掉并磨平圆片边缘的毛边。


(4)用双喷电解抛光仪将样品减薄并穿孔。


  为防止样品氧化,电解也要冷却至-20℃左右。电解液、电流、电压根据试样的具体情况选定。最佳状态制成的薄膜样品表面平滑、光亮。


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